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1. ChinaXiv:201611.00800
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粉末靶射频磁控溅射非晶Al2O3薄膜的制备与性能研究
分类:
材料科学
>>
材料科学(综合)
提交时间:
2016-11-15
合作期刊:
《金属学报》
吴法宇
李建伟
齐奕
丁梧桐
樊子铭
周艳文
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