基于双平晶互检法的平面绝对检验仿真

摘要: 大口径平面光学元件的使用越来越广泛，但它的检测精度受大口径干涉仪参考面的面形误差限制。为了解决此问题，采用双平晶互检法标定干涉仪参考面的绝对面形误差，从而可以消除检测时干涉仪参考面的面形误差的影响。双平晶互检法的优点在于只需要两块平晶，并且测量过程中，不需要反复更换干涉仪的参考面，更适合大口径光学平面的绝对检测。对双平晶互检法检测光学平面的数理模型进行仿真，验证该方法的正确性，并对实验过程中的误差进行仿真分析。研究解决了目前干涉检测精度受限于参考平晶精度的瓶颈问题，同时为未来超大口径(口径大于lm)平面干涉仪参考平晶误差标定问题提供技术支撑。