分类: 材料科学 >> 材料科学(综合) 提交时间: 2023-02-14 合作期刊: 《桂林电子科技大学学报》
摘要: 锂磷氧氮(LiPON)是薄膜电池应用中最具代表性的薄膜固态电解质,还被用作界面保护层,用以提高电解质与正 极、负极的界面稳定性。采用射频磁控溅射方法,以Li3PO4 为溅射靶材,在N2 气氛下沉积LiPON薄膜固态电解质。通过 优化溅射功率、工作压强、基底温度等工艺条件,制备出表面致密、均匀、无缺陷的LiPON薄膜。XPS测试结果表明,薄膜 的溅射过程是一种反应式溅射,N取代Li3PO4 结构中的桥氧键(O)与非桥氧键(O),形成氮三配位键Nt(N)和 氮双配键Nd(N),构成网状结构的LiPON薄膜。测得LiPON薄膜固态电解质的室温离子电导率为710-7 Scm-1, 电子电导率为4.810-13 Scm-1。LiPON薄膜固态电解质致密的形貌和稳定的电化学性能使得LiPON在薄膜电池及固 态电池界面改性中的应用具有显著优势。