分类： 核科学技术 >> 核科学技术其他学科 提交时间： 2024-05-07
摘要： 智能剥离技术(Smart-Cut)是一种利用离子注入和晶片键合来转移超薄单晶层的技术。在先进微电子系统中，智能剥离技术作为半导体材料异质异构集成的重要技术手段之一，受到了学界和行业的广泛关注。智能剥离技术是在半导体材料表面单一注入或共注入氢、氦离子，并调控注入工艺参数（能量、温度、注量、注量率、注入顺序等），将半导体材料和衬底材料在低温下键合后，再进行退火（温度、时间、速率），使注入层内产生平行表面的微裂纹，从而实现层转移。本论文总结了近二十年第一、二、三、四代半导体智能剥离技术研究进展，分析了微观缺陷和微裂纹生长机制，探究了不同材料的剥离阈值差异原因，为理解和掌握智能剥离技术提供了参考，对利用智能剥离技术制备半导体器件有重要意义。
分类： 力学 >> 固体力学 提交时间： 2023-12-18 合作期刊: 《应用力学学报》
摘要： 对微波作用后的砂岩试样开展了波速测试和单轴压缩试验,并结合差热分析和扫描电镜试验探讨了微波加热对砂岩物理力学性质的影响机制。试验表明:在微波作用下试样温度迅速升高,且功率越大,升温速率越大; 微波作用后,试样纵波波速随着微波加热功率、时间的增大迅速降低; 随着微波功率的增加,试样的单轴抗压强度和弹性模量先增大后减小; 随着加热时间的增加,试样的单轴抗压强度先增加后减小,弹性模量则都降低。微波加热导致砂岩内部产生了不同程度的结构变化,表现为黏土矿物的失水收缩裂纹、沿颗粒边界裂纹、颗粒内部裂纹等。低功率、短时间加热时,微波加热对砂岩的强度有增强作用; 高功率且长时间微波加热条件下,砂岩试样温度较高并产生明显损伤,使得强度降低。
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