分类: 动力与电气工程 >> 工程热物理学 提交时间: 2017-11-07 合作期刊: 《工程热物理学报》
摘要: 本文研究了多层悬空氮化硼的面内热导率。我们通过机械剥离法得到多层氮化硼,并利用干法转移技术将其悬空于微桥器件上,进而进行热导率测量。在干法转移的过程中,我们使用二甲基硅氧烷(PDMS)作为氮化硼载体,这样可使得样品表面残留的有机物更少,样品质量更高。本工作测得四层悬空氮化硼的面内热导率在室温达到286 Wm-1K-1,与已知块体氮化硼的热导率大小相当,但低于双层氮化硼样品的结果,从而在实验上证明了悬空氮化硼面内热导率具有厚度效应。