AIMS望远镜8~10微米成像终端系统装调检测方法

摘要: 针对AIMS望远镜8~10μm真空制冷成像终端系统的高精度装调需求，提出了一种基于中红外可调谐激光光源的宽谱段干涉检测和装调方法。首先，采用泰曼—格林型干涉仪，利用其参考臂可调的优势，弥补光源相干性不足的缺陷，从而可以实现8~10μm宽谱段的干涉测量。其次，完成了干涉仪光学系统设计，可同时兼顾8~10μm和可见光双波段的波前质量，从而解决了肉眼不可见为干涉仪自身装调带来的困难。设计结果表明，利用可见光激光器进行干涉仪自身装调，可达到RMS 0.05λ@0.633μm的波前精度；在8~10μm检测波段，干涉仪波前RMS值均能优于0.001λ，可满足待测系统的检测需求。最后，基于逆向优化法仿真了8~10μm光学系统的装调流程。